氣相沉積爐是時代發展進步的產物，氣相沉積爐是通過化學反應的方式，利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源，在反應器內使氣態或蒸汽狀態的化學物質在氣相或氣固界面上經化學反應形成固態沉積物的技術。簡單來說就是：兩種或兩種以上的氣態原材料導入到一個反應室內,然后他們相互之間發生化學反應，形成一種新的材料，沉積到基片表面上。CVD和PVD相比，沉積過程要發生化學反應，是一個氣象化學生長的過程。
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