氣相沉積爐使用等溫或熱梯度工藝實現致密化。將待處理的物體放置在相應的腔室中，并下沉放入高溫爐的熱區。在蓋子被下放進入爐中并密封之前，所有的氣體、水和電氣和工藝儀器應連接到位。接下來高溫爐排空氣體并加熱到約1000°C。然后引入天然氣或甲烷等烴類氣體。氣體擴散進入預制件，分成成分分子，將熱解碳沉積進入預制件填充空隙。加熱和供應沉積氣體的工藝順序自動化進行。在等熱過程中，預制件保持這一均勻溫度30~40天，直到獲得預期的復合材料密度和孔隙率。
氣相沉積爐系雙壁設計，可以在運行期間用水冷卻。電力電纜較粗，也可用水冷卻。實際的蒸餾器位于高溫爐內部，而且通過石墨感應或電阻加熱器加熱到2200~2900°C。
因為設備尺寸和重量均較大，所以每個部件均采用托盤和板條箱包裝。大型蓋子、電源和爐體通常已內置有起吊點或環，以方便設備的搬動和組裝。
氣相沉積爐用于將碳注入到火箭噴管或再入飛行器(RV)鼻錐的多孔碳預制件中。這種稱為致密化的工藝有效消除了預制件中的空隙，從而增加被處理物體的機械和物理特性。碳碳復合材料的最終特性在很大程度上取決于預制件中碳纖維的類型和方向以及致密化使用的工藝參數。
氣相沉積)爐用于制造碳-碳火箭噴管和鼻錐。碳-碳制件重量輕、強度大，可以提升系統性能。還可用于為光學器件涂覆涂層；為航空航天制動系統摩擦材料和切削刀具致密;精密表面增加涂層和拋光;以及半導體生產。
